上場企業 神工半導体
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※ SIC(炭化ケイ素)製品
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※ SIC(炭化ケイ素)製品

● シリコン半導体、化合物半導体、第三世代半導体など幅広い分野へ対応
● EPI、PVD/CVD、RTPなど多様なプロセス
● 複数プロセスにおけるキー・パーツ

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大口径シリコン材料
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製品の説明
商品パラメータ
产品カテゴリー アプリケーション産業 プロセス 产品
 グラファイト基材- SIC Siベース半導体 SI waferエピー
オプトエレクトロニクス MOCVD
バルク堆積- SIC Siベース半導体 ドライエッチング
焼結体- SIC  Siベース半導体 炉用部品
第三世代半導体 SIC waferエピー
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