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※ シリコンパーツ
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大口径シリコン材料
1
製品の説明
商品パラメータ
| 部品 | 寸法 | 年産 |
| 電極 | OD320-450mm Thickness10-25mm | 15000 |
| OD320-450mm Thickness10-25mm |
||
| C-Shroud | OD530 Thickness:30-65mm |
3600 |
| Outer Ring | OD350-450 Thickness:10-25mm |
12000 |
| Focus Ring | OD320 Thickness: 3-7mm |
18000 |
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