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PV:
1000
※ シリコンリング
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PV:
1000
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該当するカテゴリー
大口径シリコン材料
1
製品の説明
商品パラメータ
製品説明
シリンダー状の素材を更に所要な厚さまで切り出し、薄いリング状になります。この製品はお客様側で更に加工し、ドライエッチング装置の下部電極（Focus Ring）になります。
製品用途
Focus Ring用素材。
技術パラメーター
| 直径mm | タイプ/結晶方位 | 純度 |
抵抗率（Ω.cm） |
厚さ |
|
φ200-φ |
P/<100>/<111> |
10～11N |
≤0.01 |
顧客指定 |
|
1-4 |
||||
|
60-90 |
||||
| 顧客指定 |
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※ シリコン板材
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無し
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