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PV:
1000
※ シリコン板材
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1000
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該当するカテゴリー
大口径シリコン材料
1
製品の説明
商品パラメータ
製品説明
シリコン単結晶インゴットを外周研削加工そして所要な厚さまで切り出し、円盤状にします。この製品はお客様側で更に加工し、ドライエッチング装置の上部電極として使われます。
製品の用途
ドライエッチング装置の上部電極の素材。
技術パラメーター
|
直径mm |
タイプ/結晶方位 | 純度 |
抵抗率（Ω.cm） |
厚さ |
|
φ200-φ475 |
P/<100>/<111> |
10～11N |
≤0.01 |
顧客指定 |
|
1-4 |
||||
|
60-90 |
||||
| 顧客指定 |
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※ シリコンリング
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