上場企業 神工半導体
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※ シリンダー状シリコン素材
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※ シリンダー状シリコン素材

お客様のご要望に応じて、単結晶シリコンインゴットを外周研削と中抜き加工し、シリンダー状にすることができます。この製品は、お客様側でさらに加工され、ドライエッチング装置の下部電極(Focus Ring)として使用されます。
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大口径シリコン材料
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製品説明

お客様のご要望に応じて、単結晶シリコンインゴットを外周研削と中抜き加工し、シリンダー状にすることができます。この製品は、お客様側でさらに加工され、ドライエッチング装置の下部電極(Focus Ring)として使用されます。

製品用途

Focus Ring用素材。

技術パラメーター

外径mm

内径mm

タイプ/結晶方位 純度

抵抗率(Ω.cm)

長さmm

φ200-φ475

顧客規格

P/<100>/<111>

10~11N

≤0.01

顧客指定

1-4

60-90

顧客指定

 

 

 

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