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PV:
1000
※ シリンダー状シリコン素材
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1000
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該当するカテゴリー
大口径シリコン材料
1
製品の説明
商品パラメータ
製品説明
お客様のご要望に応じて、単結晶シリコンインゴットを外周研削と中抜き加工し、シリンダー状にすることができます。この製品は、お客様側でさらに加工され、ドライエッチング装置の下部電極(Focus Ring)として使用されます。
製品用途
Focus Ring用素材。
技術パラメーター
外径mm |
内径mm |
タイプ/結晶方位 | 純度 |
抵抗率(Ω.cm) |
長さmm |
φ200-φ475 |
顧客規格 |
P/<100>/<111> |
10~11N |
≤0.01 |
顧客指定 |
1-4 |
|||||
60-90 |
|||||
顧客指定 |
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